Зміст номерів

Google Scholar

На даний момент 87 гостей на сайті
Ulti Clocks content


УДК 621.744:666.798.2


Цисар М.О.
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАНУ


ФОРМУВАННЯ РЕЛЬЄФУ ПОВЕРХНІ УЛЬТРА-ТОНКОЇ ПЛІВКИ МІДІ


Tsysar M.
V. Bakul Institute for Superhard Materials Kyiv, Ukraine


SURFACE ROUGHENING OF ULTRA-THIN COPPER FILM


Представлені результати досліджень ультра-тонкої плівки міді методом скануючої тунельної мікроскопії (СТМ) з напівпровідниковим алмазним вістрям. Експериментальні данні порівняні з аналітичними даними, які отримані на основі розробленої фізико-математичної моделі формування рельєфу поверхні під впливом напружено-деформованого стану. Розбіжність між експериментальними даними і моделлю складає лише ≈0,5% в латеральному напрямку і ≈3% в напрямку вісі z.


Ключові слова: ультра-тонка плівка міді, напружено-деформований стан, скануючий тунельний мікроскоп, алмазне вістря.

 

1. Zhengwen L., Antti R., Roy G. Atomic layer deposition of ultrathin copper metal films from a liquid copper amidinate precursor // J. Elect. Soc. – 2006. – 153, 11. – p.787-794.
2. Yoshihiro N., Shirou O., Hiroshi K. Multilevel interconnect technology for 45-nm node CMOS LSIs // J. Sci. Tech. – 2010. – 46, 1. – p.120 -127.
3. Matthews J., Blakeslee A. Defects in epitaxial multilayers // J. Crys. Grow. – 1974. – 37. – p.118-125.
4. Sun B., Suo Z. A finite element method for simulating interface motion—II. Large shape change due to surface diffusion // Mech. Mat. – 1997. – 45,12. – p. 4953-4962.
5. Sébastien B., Harry A., Alexander Ya. The surface of helium crystals // Rev. Mod. Phys. – 2005. – 77, 1. – p.317–370.
6. Дмитриев А.И., Никонов А.Ю., Псахье С.Г. Молекулярно-динамическое изучение отклика бикристалла меди в условиях сдвигового нагружения // Письма в ЖТФ. – 2010. – 36, 17. – c.16-22.
7. Yang X., Weinan E. Misfit elastic energy and a continuum model for epitaxial growth with elasticity on vicinal surfaces // Phys. Rev. B. – 2004. – 69, 3. – p. 035409- 035425.
8. Gao H. In Modern Theory of Anisotropic Elasticity and Applications / ed. J. Wu, T. Ting, D. Barnett. // Philadelphia: SIAM. – 1991. – p.139.
9. Huajian G. Mass-conserved morphological evolution of hypocycloid cavities: a model of diffusive crack initiation with no associated energy barrier // Proc. R. Soc. Lond. A. – 1995. – 448. – p.465-483.
10. Simmons J.G. Generalized formula for the electronic tunnel effect between similar electrodes separated by a thin insulating film // J. Appl. Phys. – 1963. – 34. – p.1793-1803.
11. Lysenko O.G., Novikov N.V., Gontar A.G. Semiconductive diamond tip for combined scanning probe microscopy// Journal of Superhard Materials. – 2006. – 28, 6.– p.9-18.

 .pdf